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P Series

时间:2019-12-05   浏览次数:1797次

设备名称:
eFlow Series
厂家:
DIC GROUP
型号:
P Series
年份:
now
设备状态:
new











FLOW Series是通过使用DIC自主开发的「中空纤维透气膜」补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的「灰尘再次附着」和基板图形的防「静电破坏」的效果。

特征


n由于结构简单,故障少

n采用独特的配管分配方式,易于控制电阻率值且稳定性优良

n二氧化碳供气模组的寿命长(保证期限为5年,本公司制)

主要用途


n掩模、网袋的清洗   n洗涤器清洗   n高压喷射清洗   n切割工序的清洗   n槽清洗

产品阵容

Panel mount Type(P Series)


P Series可安装在符合EIA(美国电子工业协会)规格的支架上。1AP型为标准机,连接部全清洁规格,2AP型为选购件,可对应全清洁规格。


处理流量(L/min) 型号 模组
1-16 1AP-B02 PF-001L-NA 1个 1module
5-30 2AP-B01 PF-001L-ND2 2个 2modules
10-50 3AP-B01 PF-001L-ND3 2个 2modules


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